产品详情
规格
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型号 |
VL-570 |
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类型 |
测量头 |
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载物台 |
VL-550、VL-530 |
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控制器 |
VL-500 |
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照明系统 |
观察用光源 |
三色 LED(红色、绿色、蓝色) |
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测量用光源 |
蓝色 LED |
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测量精度 |
±10 µm*1 |
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测量分辨率 |
标准测量(4M 模式) |
400 万点 |
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高精度测量(16M 模式) |
VL-550: 1600 万点*2 |
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测量范围 |
低倍 |
ø300×H200 mm |
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高倍 |
ø70×H50 mm |
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显示分辨率 |
0.1 µm*3 |
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重复精度(σ) |
2 µm*4 |
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投光 光学系统 |
偏移投光型投影仪模块 |
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受光 光学系统 |
低倍、高倍偏移双光学模块 |
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图像拼接功能 |
自动旋转拼接测量 |
○ |
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自动 XY 拼接测量 |
VL-550: ○ |
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自动 XY 拼接 测量范围 |
低倍(2×2 合成) |
VL-550: ø500×H200 mm |
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低倍(3×1 合成) |
VL-550: W580×D300×H200 mm*5 |
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高倍(2×2 合成) |
VL-550: ø110×H50 mm |
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高倍(3×1 合成) |
VL-550: W150×D70×H50 mm*5 |
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载物台 |
载物台构成 |
VL-550: 电动 XYθ 载物台构造 |
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载物台旋转 |
360°(无限旋转) |
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载物台移动范围 |
VL-550: ø200 mm |
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倾斜构造 |
45° |
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承受负重 |
VL-550: 50 kg |
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控制用计算机 |
本公司专用 PC(OS 为 bbbbbbs®10)*6 |
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电源 |
电源电压 |
100 至 240 VAC±10％ 50/60 Hz |
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消耗功率 |
[VL-550] 控制器/ 测量头: 200 VA、载物台: 80 VA |
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环境抗耐性 |
使用温度范围 |
+15 至 +30℃ |
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使用湿度范围 |
20 至 80%RH，但无凝结 |
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重量 |
控制器: 3.8 kg |
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*1 参考 JIS B7440-8，使用本公司现有标准量规，按本公司现有测量模式测量时的值，使用环境温度为 23℃ ±1℃ |
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